Roboty w produkcji półprzewodników

WYZWANIE

Zrobotyzowane magazynowanie płytek krzemowych

Firma specjalizująca się w zaspokajaniu potrzeb branży półprzewodników w zakresie automatyzacji zaprojektowała imponującą koncepcję tymczasowego przechowywania płytek w warunkach pomieszczeń czystych. W ramach tego innowacyjnego systemu robot Stäubli do pomieszczeń czystych wykonuje skomplikowane zadania manipulacyjne.

Wymiary półprzewodników na powierzchni płytki krzemowej są zwykle mierzone w nanometrach. W tych okolicznościach oczywiste jest, że każda obca cząstka, bez względu na to, jak mała, może zakłócić działanie mikroprocesora. Dlatego około 100 pojedynczych etapów produkcji odbywa się w środowisku pomieszczeń czystych.

W przypadku gdy wafle muszą być przechowywane tymczasowo, muszą być również przechowywane w warunkach pomieszczenia czystego. W tym miejscu pojawia się CubeStocker firmy Fabmatics. Sercem systemu jest Stäubli Super Cleanroom TX2-90XL zamontowany na dwuosiowej suwnicy, która obsługuje składowanie i pobieranie z płynną wydajnością i bez zanieczyszczeń.

ROZWIĄZANIE

Dwa w jednym: Pośredni bufor lub system przechowywania płytek testowych

CubeStocker to w pełni zautomatyzowany system magazynowy dla nośników, w którym transportowane i przechowywane są wafle (maksymalna pojemność 25). Jeden CubeStocker mieści 200 nośników. System przenośników biegnący wzdłuż sufitu pomieszczenia czystego automatycznie doprowadza nośniki do i z poszczególnych miejsc magazynowania w jednostce magazynowej.

Szczególną cechą zastosowanego tutaj CubeStocker jest to, że działa on w własnej atmosferze pomieszczenia czystego ISO 3. W ten sposób płytki są tymczasowo przechowywane w absolutnie czystych warunkach przed kolejnym etapem przetwarzania lub między cyklami testowymi, bez ryzyka zanieczyszczenia.  

UŻYTKOWANIE PRZEZ KLIENTA

Robot "Supercleaner" chroni cenny ładunek

Obsługa nośników płytek półprzewodnikowych odbywa się za pomocą sześcioosiowego robota Stäubli do pomieszczeń czystych. Zespół projektowy Fabmatics zdecydował się na Stäubli TX2-90XL o zasięgu 1 450 mm w specyfikacji Super Cleanroom (SCR), co kwalifikuje ją do użytku w pomieszczeniach czystych klasy ISO 2. Robot otrzymuje również wysokie noty za wyjątkowo płynną pracę, co wynika nie tylko z opatentowanej technologii napędu o wysokiej precyzji, ale także z doskonałej wydajności sterownika robota Stäubli CS9.

Dlaczego stawiane są tak wysokie wymagania dotyczące wydajności robota? Martin Däumler, dyrektor ds. rozwoju produktu w firmie Fabmatics, wyjaśnia: "Po prostu płytki są delikatne, a wartość 25 płytek w nośniku wynosi od 100 000 euro do kosztu domu jednorodzinnego. W związku z tym w każdych warunkach należy zapewnić obsługę bez ryzyka i wibracji, a także precyzyjne pozycjonowanie w zakresie poniżej milimetrów".