Stäubli Temiz Oda robotları, ISO 14644-1 sınıf 2 (SCR versiyonu) ve sınıf 4 (CR versiyonu) standartlarını karşılar ve yüksek el becerisine sahip, parlak poliüretan yüzeye sahip tamamen kapalı bir kola sahiptir. Diğer wafer robotlarıyla karşılaştırıldığında, Stäubli SCR ve CR robotları daha fazla esneklik, daha yüksek taşıma kapasitesi ve daha geniş erişim sunarak wafer/fotoğraf maskesi/taşıyıcı/kaset kullanımının zorluklarını mükemmel bir şekilde karşılar. Kompakt kol ayak izi, özel makinelerde değerli alandan tasarruf edilmesine de yardımcı olur.
6 eksenli robotlar | ||||
---|---|---|---|---|
Model | ||||
Serbestlik dereceleri | 6 | 6 | 6 | 6 |
Yük kapasitesi (kg) | 4.5 / 3.7 | 14 / 12 / 7 | 40 | 40 / 25 |
Bilekten erişim (mm) | 670 / 920 | 1000 / 1200 / 1450 | 1510 | 1710 / 2010 |
Tekrarlanabilirlik (mm) | ±0,02 | ±0,02 | ±0.015 | ±0.02/±0.03 |
Temiz oda standardı ISO 14644-1 | Sınıf 2 (SCR versiyonu) - Sınıf 4 (CR versiyonu) | Sınıf 4 (CR versiyonu) | ||
Koruma sınıfı (*bilek) | IP65 koruma sınıfı (*IP67) | |||
Bağlanma yöntemleri | 360° montaj imkanı | Zemin veya tavan | ||
Stäubli denetleyici | CS9 (İngilizce) | CS9 MP |