Przeładunek, transport i magazynowanie nośników wafli krzemowych

Obsługa nośników płytek, takich jak FOUP, SMIF i inne rodzaje otwartych kaset, jest delikatnym zadaniem ze względu na kruchość i wysoką wartość zawartości. Ze względu na to, że przetwarzanie front-end w funkcjonalnych blokach przestrzeni powietrznej składa się z wielu etapów, płytki muszą być szybko i bezpiecznie przenoszone z jednej maszyny procesowej na drugą. Nośniki są również używane do tymczasowego przechowywania wafli.

Systemy zintegrowane z robotami Stäubli do pomieszczeń czystych, zaprojektowane specjalnie z myślą o surowych wymaganiach dotyczących pomieszczeń czystych, mogą zapewnić wysoką szybkość i niezawodność w obsłudze i przechowywaniu nośników płytek. Umożliwia to większą przepustowość przy jednoczesnej minimalizacji emisji cząstek. Ponadto ich kompaktowe wymiary pomagają zaoszczędzić miejsce na sprzęt produkcyjny.