Zaawansowane rozwiązania do obsługi fotomasek i wafli krzemowych

W produkcji półprzewodników, gdzie przetwarzanie płytek półprzewodnikowych i fotomasek ma kluczowe znaczenie, osiągnięcie najwyższego poziomu czystości, dokładności i niezawodności jest koniecznością. Nasze roboty są zaprojektowane tak, aby spełniały rygorystyczne wymagania

Roboty Stäubli są projektowane z myślą o potrzebie kontrolowanych środowisk. Są one zbudowane tak, aby zminimalizować emisję cząsteczek stałych – kluczowy czynnik, gdy każda cząstka może mieć znaczący wpływ na wydajność produkcji.

Na przykład w przypadku montażu błonki maski znaczenie precyzji robotycznej staje się jeszcze bardziej widoczne. Roboty Stäubli są biegłe w wykonywaniu tego delikatnego zadania, a ich precyzyjnie kontrolowane ruchy zapewniają prawidłowe ustawienie w celu ochrony siatek celowniczych dla kolejnych etapów litografii. Co więcej, kompaktowe wymiary tych robotów oznaczają, że można je zintegrować z ograniczonymi przestrzennie środowiskami typowymi dla pomieszczeń czystych, bez poświęcania ich doskonałej wydajności.

Podsumowując, roboty firmy Stäubli stanowią poglądowy punkt odniesienia dla rodzaju urządzeń automatyki, które spełniają rygorystyczne standardy branży półprzewodników.