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I robot Stäubli per camere bianche soddisfano gli standard ISO 14644-1 classe 2 (versione SCR) e classe 4 (versione CR) e sono dotati di un braccio completamente chiuso con una superficie in poliuretano lucido, capace di un'elevata destrezza. Rispetto ad altri robot wafer, i robot Stäubli SCR e CR offrono una maggiore flessibilità, una maggiore capacità di carico utile e un raggio d'azione esteso, rispondendo perfettamente alle sfide della movimentazione di wafer/fotomaschere/supporter/cassette. L'ingombro compatto del braccio consente inoltre di risparmiare spazio prezioso nelle macchine dedicate.
Robot a 6 assi | ||||
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Modello | ||||
Gradi di libertà | 6 | 6 | 6 | 6 |
Capacità di carico (kg) | 4.5 / 3.7 | 14 / 12 / 7 | 40 | 40 / 25 |
Portata al polso (mm) | 670 / 920 | 1000 / 1200 / 1450 | 1510 | 1710 / 2010 |
Ripetibilità (mm) | ±0,02 | ±0,02 | ±0,015 | ±0,02/±0,03 |
Standard per camera bianca ISO 14644-1 | Classe 2 (versione SCR) - Classe 4 (versione CR) | Classe 4 (versione CR) | ||
Classe di protezione (*polso) | IP65 (*IP67) | |||
Metodi di fissaggio | Possibilità di montaggio a 360° | Pavimento o soffitto | ||
Controllore Stäubli | CS9 | CS9 MP |