Gamma di robot industriali per camere bianche

I robot Stäubli per camere bianche soddisfano gli standard ISO 14644-1 classe 2 (versione SCR) e classe 4 (versione CR) e sono dotati di un braccio completamente chiuso con una superficie in poliuretano lucido, capace di un'elevata destrezza. Rispetto ad altri robot wafer, i robot Stäubli SCR e CR offrono una maggiore flessibilità, una maggiore capacità di carico utile e un raggio d'azione esteso, rispondendo perfettamente alle sfide della movimentazione di wafer/fotomaschere/supporter/cassette. L'ingombro compatto del braccio consente inoltre di risparmiare spazio prezioso nelle macchine dedicate.

Facile da pulire

Finitura liscia

Nessuna area di ritenzione

Vite a testa piatta esagonale con guarnizione* 

Per il miglior livello di pulizia

Procedure specifiche di verniciatura e assemblaggio

Emissione minima di particelle (conformità ISO classe 2/4)

Guarnizioni a labbro speciali per camera bianca

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Principali applicazioni in camera bianca

Specifiche tecniche

Robot a 6 assi
Modello

TX2-60 / 60L

TX2-90 / 90L / 90XL

TX2-140

TX2-160 / 160L

Gradi di libertà6666
Capacità di carico (kg)4.5 / 3.7
14 / 12 / 74040 / 25
Portata al polso (mm)670 / 920

1000 / 1200 / 1450

1510

1710 / 2010

Ripetibilità (mm)±0,02

±0,02

±0,015

±0,02/±0,03

Standard per camera bianca ISO 14644-1Classe 2 (versione SCR) - Classe 4 (versione CR)Classe 4 (versione CR)

Classe di protezione

(*polso)

IP65

(*IP67)

Metodi di fissaggioPossibilità di montaggio a 360°Pavimento o soffitto
Controllore StäubliCS9CS9 MP