半導体製造におけるロボット

アプリケーション

ロボットを使ったシリコンウエハの保管作業

半導体業界の自動化ソリューションを専門とするこの企業は、クリーンルーム条件下でのウエハの中間保管のための画期的なコンセプトを設計しました。この革新的なシステムの中で、ストーブリのクリーンルームロボットが複雑なハンドリング作業を行います。

シリコンウエハの表面上の半導体の寸法は、通常、ナノメートルで測定されます。このような状況下では、どんなに小さな異物でもマイクロチップの機能を損なう可能性があることは明らかです。そのため、100段階ほどの生産工程がクリーンルーム環境で行われます。

ウエハを一時的に保管する必要がある場合は、同様にクリーンルーム条件下で保管する必要があります。そこで登場するのがFabmatics社のCubeStockerです。システムの心臓部には、2軸ガントリーに取り付けられたストーブリのスーパークリーンルームTX2-90XLがあり、スムーズな効率で汚染のない保管と取り出しを行います。

ソリューション

2 in 1:テストウエハ用の中間バッファーまたはストレージシステム

CubeStockerは、ウエハ(最大容量25枚)を搬送・保管するキャリア用全自動保管システムです。1台のCubeStockerに200個のキャリアを収納できます。クリーンルームの天井に沿って走るコンベアシステムは、ストッカーユニット内の個々の保管場所にキャリアを自動的に出し入れします。

ここに配備されたCubeStockerの特徴は、独自のISO3クリーンルーム環境で動作することです。そのため、ウエハは汚染のリスクなしに、次の工程の前またはテストサイクルの間に、完全にクリーンな状態で一時的に保管されます。  

お客様の使用状況

「スーパークリーナー」ロボットが貴重な貨物を保護

ウエハキャリアのハンドリングは、ストーブリの6軸クリーンルームロボットによって行われます。Fabmatics社の設計チームは、ISOクラス2のクリーンルーム環境での使用に適した 、スーパークリーンルーム(SCR)仕様のリーチ1,450mmのストーブリTX2-90XLを選択しました。また、このロボットは、独自の高精度駆動技術だけでなく、ストーブリの ロボットコントローラCS9の優れた性能により、非常にスムーズな動作でも高い評価を得ています。

なぜ、ロボットの性能にこれほど大きな要求が課せられるのか。Fabmatics社の製品開発責任者であるMartin Däumler氏は、「簡単に言うと、ウエハは壊れやすく、キャリア内の25枚のウエハの価値は、100,000ユーロ以上になります。したがって、リスクや振動のないハンドリングと、サブミリメートル範囲での正確な位置決めは、あらゆる状況下で保証されなければなりません。」