ウェハーキャリアの取り扱い、輸送、保管

FOUP、SMIF、その他のタイプのオープンカセットなどのウェハーキャリアの取り扱いは、内容物の価値が高く壊れやすいため、デリケートな作業です。FABのフロントエンド処理には複数のステップが含まれ、ウェハーを1つのプロセスマシンから次のプロセスマシンに迅速かつ安全に転送する必要があります。また、キャリアはウェハーの一時保管にも使用されます。

ストーブリのクリーンルームロボットと統合されたシステムは、クリーンルームの厳しい要件に合わせて特別に設計されており、ウェハーキャリアの取り扱いと保管において高速かつ信頼性の高いものを確保することができます。これにより、粒子の排出を最小限に抑えながら、より高いスループットを実現できます。さらに、コンパクトな設置面積で、製造装置のスペースを効率化できます。