キャリアのハンドリング、輸送、保管

FOUP、SMIF、その他のタイプのオープンカセットなどのウエハキャリアの取り扱いは、内容物の価値が高く壊れやすいため、デリケートな作業です。FABのフロントエンド処理には複数のステップが含まれ、ウエハを1つのプロセスマシンから次のプロセスマシンに迅速かつ安全に転送する必要があります。また、キャリアはウエハの一時保管にも使用されます。

ストーブリのクリーンルームロボットが組込まれたシステムは、クリーンルームの厳しい要件に合わせて特別に設計されており、ウエハキャリアの取り扱いと保管において高速かつ信頼性の高いものを実現することが可能です。これにより、パーティクルの排出を最小限に抑えながら、より高いスループットを実現できます。さらに、コンパクトな設置面積で、製造装置のスペースを効率化できます。