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半導体製造の生産性を向上させるStäubliクリーンルーム ロボットソリューション

エレクトロニクスおよび半導体業界には、精度、速度、および少ない発塵という高い要件が求められます。これらのニーズを満たすために、ストーブリは、厳しい管理が求められるアプリケーション向けに特別に設計されたクリーンルームロボットのラインナップを提供しています。ストーブリのロボットは、半導体製造プロセス全体を通じて、シリコンウェーハ、ウェーハキャリア、フォトマスク、パネルを非常に高い精度、高速、スムーズな動作で扱うことができます。

半導体産業におけるロボットの要件

発塵を抑えたクリーンな環境

ロボットから発生するパーティクルによるダメージを防ぎ、

ISO2およびISO4のクリーンルームクラスに準拠。

精密で滑らかな軌道

生産性と安定した品質を維持しながら、デリケートな製品を安全に取り扱うことができます。

長期的な信頼性

最高の性能を長期間にわたり維持。メンテナンス頻度を低減。

小さな設置スペース

狭いスペースに適したコンパクトな設計

製品ラインアップ

半導体用途向けに設計

当社のクリーンルーム(CR/SCR)シリーズのロボットは、クリーンな環境の要件を満たすために特別に設計されています。
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半導体 - 機械搬送

半導体業界の厳しいニーズに対応するモバイルロボットクリーンルームバージョン。

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SEMIメンバー

SEMIの一員として、ストーブリ・ロボティクスは世界中の半導体装置メーカーとの協力に尽力し、今日の半導体製造業界が直面する課題に対処する最適な自動化ソリューションの提供を目指しています。

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