半導体製造の生産性を向上させるStäubliクリーンルーム ロボットソリューション

エレクトロニクスおよび半導体業界には、精度、速度、および少ない発塵という高い要件が求められます。これらのニーズを満たすために、ストーブリは、厳しい管理が求められるアプリケーション向けに特別に設計されたクリーンルームロボットのラインナップを提供しています。ストーブリのロボットは、半導体製造プロセス全体を通じて、シリコンウェーハ、ウェーハキャリア、フォトマスク、パネルを非常に高い精度、高速、スムーズな動作で扱うことができます。