Robot nella produzione di semiconduttori

COMPITO

Stoccaggio assistito da robot di wafer di silicio

Un'azienda specializzata nel soddisfare le esigenze di automazione dell'industria dei semiconduttori ha progettato un concetto impressionante per lo stoccaggio temporaneo di wafer in condizioni di camera bianca. All'interno di questo sistema innovativo, un robot per camera bianca Stäubli esegue complesse attività di movimentazione.

Le dimensioni dei semiconduttori sulla superficie di un wafer di silicio sono tipicamente misurate in nanometri. In queste circostanze, è chiaro che qualsiasi particella estranea, non importa quanto piccola, può compromettere la funzione del microchip. Ecco perché le circa 100 singole fasi di produzione avvengono in un ambiente di camera bianca.

Se i wafer devono essere immagazzinati temporaneamente, devono essere conservati anche in condizioni di camera bianca. È qui che entra in gioco il CubeStocker di Fabmatics. Il cuore del sistema è una Stäubli Super Cleanroom TX2-90XL montata su un portale a doppio asse che gestisce lo stoccaggio e il prelievo con efficienza fluida e senza contaminazione.

SOLUZIONE

Due in uno: tampone intermedio o sistema di stoccaggio per wafer di prova

Il CubeStocker è un sistema di stoccaggio completamente automatizzato per i trasportatori in cui vengono trasportati e stoccati i wafer (capacità massima 25). Un CubeStocker contiene 200 vettori. Un sistema di trasporto che corre lungo il soffitto della camera bianca alimenta automaticamente i trasportatori dentro e fuori dalle singole posizioni di stoccaggio nell'unità di stoccaggio.

La particolarità del CubeStocker qui impiegato è che opera all'interno della propria atmosfera di camera bianca ISO 3. I wafer vengono quindi temporaneamente conservati in condizioni assolutamente pulite prima della fase di lavorazione successiva o tra un ciclo di prova e l'altro, senza alcun rischio di contaminazione.  

UTILIZZO DEL CLIENTE

Il robot "Supercleaner" protegge il carico prezioso

La movimentazione dei portawafer viene eseguita da un robot Stäubli a sei assi per camera bianca. Il team di progettazione di Fabmatics ha optato per uno Stäubli TX2-90XL con portata di 1.450 mm nella specifica Super Cleanroom (SCR), che lo qualifica per l'uso in ambienti di camera bianca ISO Classe 2. Il robot si distingue anche per la sua estrema silenziosità, dovuta non solo alla tecnologia proprietaria di azionamento ad alta precisione, ma anche alle prestazioni superiori del controllore per robot Stäubli CS9.

Perché vengono poste esigenze così enormi alle prestazioni del robot? Martin Däumler, Head of Product Development di Fabmatics, spiega: "Molto semplicemente, i wafer sono fragili e il valore dei 25 wafer in un portapacchi è compreso tra 100.000 euro e il costo di una casa di famiglia. Di conseguenza, è necessario garantire in ogni circostanza una manipolazione priva di rischi e vibrazioni, nonché un posizionamento preciso nell'intervallo submillimetrico".