洁净室

洁净室工业机器人系列

史陶比尔洁净室机器人符合 ISO 14644-1 标准中的 2 级(超净室版本)和 4 级(洁净室版本)洁净度要求,采用全封闭设计,表面为光滑的聚氨酯材质,具有极高的灵活性。与其他晶圆搬运机器人相比,史陶比尔超净室和洁净室机器人在灵活性、负载能力和工作范围方面表现出色,能够很好地应对晶圆、光掩模、载具及晶圆盒搬运方面的挑战。此外,其结构紧凑,占用空间小,有助于节省专用设备内的宝贵空间。

易于清洁

表面平滑

表面平滑

带密封功能的六角平头螺丝*

专为高洁净度打造

采用特定喷涂和组装工艺

低颗粒排放(符合 ISO 2 级/4 级洁净标准)

配备特殊的洁净室唇形密封件

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主要应用

技术参数

六轴机器人
型号

TX2-60 / 60L

TX2-90 / 90L / 90XL

TX2-140

TX2-160 / 160L

自由度
6666
负载能力 (kg)4.5 / 3.7
14 / 12 / 74040 / 25
手腕处工作半径 (mm)670 / 920

1000 / 1200 / 1450

1510

1710 / 2010

重复定位精度 (mm)±0.02

±0.02

±0.015

±0.02/±0.03

洁净室标准:

ISO 14644-1
FS 209E

 

级 2
子级 1

 

级 2
子级 1

 

4级

10 级

 

4级

10 级

防护等级

(*手腕)

IP65

(*IP67)

IP65

(*IP67)

IP65

(*IP67)

IP65

(*IP67)

安装方式
360° 皆可安装置地式或置顶式
机器人控制器CS9CS9 MP