半导体

借助史陶比尔洁净室机器人解决方案，提升半导体制造性能

电子与半导体行业对精度、速度和低颗粒排放有着极为严苛的要求。为迎合这些高标准，史陶比尔精心打造了一系列专为高度敏感环境设计的洁净室机械臂。我们的机器人能够以超凡的精度、高速且平稳的运动，精准处理晶圆、晶圆载具、光掩模和面板，确保整个半导体生产过程的高效与稳定。

半导体行业对机器人的要求

高度洁净，低颗粒排放

与 ISO2 级和 ISO4 级洁净室相适配，避免机器人产生的细微颗粒对产品造成任何潜在损害。

速度、精度与平稳轨迹

在安全搬运敏感产品的同时，保持高产量和稳定的质量。

长期可靠性

多年维持高性能，所需的维护频率更低。

占地面积小

紧凑设计，适用于狭小空间。

专业产品

专为半导体行业设计

史陶比尔超净室（SCR）和洁净室（CR）六轴机器人专为满足洁净室的严苛要求而设计。

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半导体 – 机器运输

洁净室版AGV，足以满足半导体行业的严格要求。

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SEMI成员

作为SEMI的成员，史陶比尔机器人致力于与世界各地的半导体设备制造商通力合作，为其提供最佳的自动化解决方案，以应对当今半导体制造业面临的挑战。

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