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半导体

洁净室机器人完美融合卓越精度、高效速度与极致清洁度

电子与半导体行业对精度、速度和低颗粒排放有着极为严苛的要求。为迎合这些高标准,史陶比尔精心打造了一系列专为高度敏感环境设计的洁净室机械臂。我们的机器人能够以超凡的精度、高速且平稳的运动,精准处理晶圆、晶圆载具、光掩模和面板,确保整个半导体生产过程的高效与稳定。

光掩模

史陶比尔超洁净室(SCR)机器人可完美应对清洁和检验等工序中的各种光掩模处理难题。

晶圆载具

凭借卓越的高精度和清洁度特性,史陶比尔机器人能够完美地执行FAB中晶圆载体(如FOUP或晶圆盒)的搬运、运输和存储任务,展现出无与伦比的效能与可靠性。

晶圆及面板

史陶比尔针对复杂的半导体制造前端工艺,如抛光、蚀刻、光刻、清洁等,为晶圆(单个或批量)及面板的处理,提供了无与伦比的速度、灵活性和可靠性。

聚焦用户需求

洁净高效

与ISO2洁净室完美融合,杜绝颗粒污染造成的损害。

精确平滑的运动轨迹

悉心处理每一个半导体工艺组件,确保他们安全完好。

长期可靠性

产品设计精良,经久耐用,即使在多年后,仍能保持最佳性能。

空间利用最大化

产品设计紧凑,让您在有限的空间内实现高吞吐量的生产,充分释放生产潜力。

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