用于晶圆处理的“超净”机器人

奥地利公司PTW SpinTec以其高质量的单片晶圆湿式蚀刻和清洗系统闻名全球。在这些高端系统中，Stäubli TX2-60六轴SCR，即超级无尘室机器人，负责晶圆。这需要高精度机器人将晶圆从盒中取出，插入系统的处理室。由于作极为灵敏，采用伯努利夹具实现全非接触式作。

晶圆会在不同的处理舱中进行蚀刻、清洗和干燥，然后由机器人再次取出并沉积到指定的晶圆槽中。这些机器人在二级无尘室工作，定位精度达到百分之一毫米范围，使其成为极其要求严格的应用。此外，由于这些系统可以在不同晶圆尺寸上执行不同的清洗和蚀刻工艺，机器人也必须具备灵活性。因此，还需要自动更换夹具。