Temiz oda robotları değerli yüklere emanet

GÖREV

Gofretlerin otomatik olarak taşınması

Bileşenleri A noktasından B noktasına taşıyan robotlar kulağa rutin bir prosedür gibi gelebilir. Bununla birlikte, arka uç alanında silikon gofretleri ele aldıklarında bu çok farklı bir konudur, çünkü bu aşamada tek bir disk birkaç bin avro değerinde olabilir. SÜSS MicroTec, bu değerli yükün son derece güvenli bir şekilde taşınmasını sağlamak için yüksek hassasiyetli Stäubli TX60L CR (Temiz Oda) robotunu tercih etti.

Asya, yarı iletken pazarında etkin bir şekilde boğucu bir hakimiyete sahiptir, ancak SÜSS MicroTec Group, yonga plakası işleme söz konusu olduğunda aynı seviyede rekabet edebilmektedir. Gruptaki şirketlerden biri, adından da anlaşılacağı gibi, arka uç alanında gofretlerin işlenmesi için litografi kullanımında uzmanlaşmış ve kapsamlı bir kaplayıcı ve geliştirici ürün yelpazesi sunan SÜSS MicroTec Lithography GmbH'dir.

Süreçlere tam hakimiyetlerinin yanı sıra ppm aralığında ihmal edilebilir kırılma oranlarına sahip gofretlerin hızlı, hassas ve güvenilir kullanımı, dünyanın her yerindeki müşterileri ikna eden argümanlardır. Asya pazarındaki rekabet güçlerinin bir başka nedeni de esnekliktir. Alman uzman ekipman üreticisi, müşteriye özel tesis adaptasyonu konusunda son derece yüksek bir uzmanlığa sahipken, Asyalı rakiplerinin odak noktası öncelikle kullanıma hazır sistemlerin inşasıdır.

ÇÖZÜM

Robot kullanımına sahip yenilikçi kaplayıcı ve geliştirici sistemleri

Standart konfigürasyonda bile sistemler, ACS 300 Gen2 modüler kaplama ve geliştirme kümesinde gösterildiği gibi son derece esnek olacak şekilde tasarlanmıştır. Sistem, 200 mm ve 300 mm gofretlerin işlenmesi için mekanik modifikasyon yapılmadan kullanılabilir. Ana uygulama alanları sofistike kaplama prosesleri, wafer seviyesinde paketleme uygulamaları ve 3D entegrasyondur. Tesis içindeki tüm elleçleme görevleri, yüksek hassasiyetli Stäubli temiz oda robotu TX60L CR tarafından gerçekleştirilmektedir. Arka uç alanında, temiz oda spesifikasyonları ISO 3 ile ISO 4 arasında değişir ve TX60L'nin temiz oda versiyonu tarafından kolayca yerine getirilir.

SÜSS MicroTec sistemleri, güvenilirlik, tekrarlanabilirlik, çalışma süresi ve güvenli kullanım açısından çok yüksek taleplere tabidir, çünkü üretim adımlarının yaklaşık yüzde 90'ı bu aşamada zaten tamamlanmıştır. Bu nedenle, çok pahalı gofretlerden birinin kırılması felaket olurdu.

Endüstride yaygın olan ve sadece üç düzlemde hareket özgürlüğüne sahip üç bağlantılı robotlarla karşılaştırıldığında, Stäubli altı eksenli robotlar çok daha esnektir. TX60L , özellikle uzun kolu ile çok daha uzağa ulaşabilir. Daha geniş çalışma alanı, sistem içindeki modüllerin çok daha esnek bir şekilde düzenlenmesine olanak tanır. Ek olarak, TX60L, yonga plakası kenar boncuklarının çıkarılmasında belirleyici bir kriter olan üç bağlantılı sistemlere kıyasla daha yüksek yerleştirme doğruluğuna ve üstün tekrarlanabilirliğe sahiptir.

MÜŞTERİ KULLANIMI

Maksimum güvenilirlik için maksimum hassasiyet

Robot, gofretleri proses modüllerine yerleştirirken son derece hassas olmalıdır. Yüksek hassasiyetli Stäubli TX60L ile modüllerde ± 50 mikronluk mutlak yerleştirme doğruluğu elde etme hedefi gerçekleştirilmiştir. Bu, Stäubli robotunun patentli JCM tahrik teknolojisinden kaynaklanmaktadır.

Robotun yüksek yol doğruluğu, gofretleri toplarken ve yerleştirirken de büyük bir avantajdır. Robot, en ufak bir titreme belirtisi olmadan, pahalı gofretleri örnek teşkil eden bir güvenilirlikle işler. Gofret kırılması sonuç olarak duyulmamış bir şeydir. Sistem için döngü süreleri, eldeki göreve bağlı olarak önemli ölçüde değişir. Modül süreleri, belirli diziler için sınırlayıcı unsurlar iken, diğer görevler için belirleyici faktör robotun kendisinin döngü süresidir. Her iki durumda da tesis, yüksek hızlanma kuvvetlerine rağmen en yüksek hassasiyetle çalışan ve yonga plakasının zarar görmesini güvenli bir şekilde önleyen Stäubli endüstriyel robotunun ultra hızlı döngü sürelerinden yararlanıyor.

SÜSS tarafından üretilen yenilikçi ACS300 Gen2 kümelerinde artık sadece Stäubli tarafından üretilen 6 eksenli robotların kullanılması tesadüf değil. Seçim prosedürü, piyasadaki alternatiflerin yakından incelenmesini içeriyordu. Ancak menzil, hız, doğruluk ve güvenilir kullanımın optimum kombinasyonunu ararken; Bu uygulama için yalnızca en iyi robot onay alacaktı.