ウェハー取り扱い用の「スーパークリーン」ロボット

オーストリアのPTWスピンテック社は、高品質な単一ウェハーウェーのウェットエッチングおよびクリーニングシステムで世界的に知られています。これらのハイエンドシステムでは、Stäubli TX2-60 6軸SCR、すなわちスーパークリーンルームロボットがウェハーを扱います。これは高精度ロボットがカセットからウェハーを取り出し、システムの処理チャンバーに挿入することを意味します。非常に敏感な取り扱いが必要なため、これはベルヌーイグリッパーを用いて完全非接触で行われます。

ウェハーはエッチングされ、洗浄され、様々な処理チャンバーで乾燥され、その後ロボットによって再度取り出され、指定されたウェハースロットに沈殿されます。ロボットはクラス2クリーンルームで動作し、位置決め精度は0.1ミリメートル程度で非常に要求の厳しい用途です。さらに、システムは異なるウェハーサイズで異なる洗浄やエッチング工程を行うことができるため、ロボットは柔軟性も求められます。したがって、自動グリッパーの交換も必要です。