貴重な製品を取り扱うクリーンルームロボット

アプリケーション

ウエハの自動ハンドリング

ロボットが部品をAからBに移動するのは、日常的な手順のように聞こえるかもしれません。ただし、バックエンド領域でシリコンウェハを扱っている場合は、この段階では1つのディスクが数千ユーロの価値がある可能性があり、問題は異なります。SÜSS MicroTec社は、この貴重なディスクを安全に取り扱うために、高精度のストーブリ製 TX60L CR(クリーンルーム) ロボットを選択しました。

半導体市場はアジアが大きなシェアを占めていますが、SÜSS MicroTecグループは、ことウエハ処理に関すれば、その市場で十分に高い競争力を持っています。グループ内の企業の1つであるSÜSS MicroTec Lithography GmbHは、その名前が示すように、バックエンド領域でのウエハ処理のためのリソグラフィー技術を専門としており、コーター・デベロッパーの包括的な製品ラインナップを提供しています。

彼らのプロセスに関する深い知識と、ppm範囲の破損率がほとんどないウエハの高速、正確、信頼性の高いハンドリングは、世界中のユーザーが納得するものです。また、アジア市場で競争力を持つもう一つの理由は、柔軟性です。ドイツの専門機器メーカーは、顧客固有のプラント適応に関して非常に高いレベルの専門知識を持っていますが、アジアの競合他社は主に既製のシステムの構築に重点を置いています。

ソリューション

ロボットハンドリングを備えた革新的なコーター・デベロッパー装置

標準構成でも、ACS 300 Gen2 モジュラーコーティングおよび開発クラスターに代表されるように、システムは高い柔軟性を持つように設計されています。200mm、300mmウェハの加工に機械的な改造を施すことなく使用可能です。主なアプリケーションは、高度なコーティングプロセス、ウエハレベルパッケージングアプリケーション、および3D統合です。工場内のすべてのハンドリング作業は、高精度のストーブリ製クリーンルームロボット TX60L CRによって行われます。バックエンドエリアでは、クリーンルーム仕様はISO 3からISO 4の範囲であり、 TX60Lのクリーンルームバージョンで十分です。

SÜSS MicroTecシステムは、この段階で生産ステップの約90%がすでに完了しているため、信頼性、再現性、稼働時間、安全な取り扱いの点で非常に高い要求にさらされています。したがって、非常に高価なウエハの1つが無駄になった場合、それは非常に大きな損失になります。

業界で普及しており、3つの平面稼働しかできないスカラタイプロボットと比べて、ストーブリの6軸ロボットははるかに柔軟性があります。特に TX60L はアームが長いため、かなり遠くまでリーチを伸ばすことができます。ワークスペースが広いため、システム内のモジュールをより柔軟に配置できます。また、TX60Lは、ウエハエッジビード除去の決定基準である3リンクシステムと比べて、より高い配置精度と優れた再現性を備えています。

ユーザーの利用状況

最高の精度で最高の信頼性を実現する

ロボットは、プロセスモジュールにウエハを配置する際に超精密でなければなりません。高精度のストーブリTX60Lにより、モジュール内の絶対配置精度±50ミクロンという目標が達成されました。これは、ストーブリロボットのJCM駆動技術（特許取得済み）によるところが少なくありません。

ロボットのパス精度は高く、ウエハをピッキングして挿入する際の大きな利点でもあります。ロボットは、わずかな振動もなく、高価なウエハを確実に処理します。したがって、ウエハの破損はあり得ません。システムのサイクルタイムは、手持ちのタスクによって大きく異なります。モジュール時間は特定のシーケンスの制限要素ですが、他のタスクでは、ロボット自体のサイクルタイムが決定要因となります。どちらの場合も、工場は、高い加速力かつ最高の精度で動作するストーブリ産業用ロボットの超高速サイクルタイムの恩恵を受け、ウエハの損傷を安全に回避します。

現在、SÜSS社が製造した革新的なACS300 Gen2クラスターにストーブリが製造した6軸ロボットのみが使用されているという事実は偶然ではありません。選定には、市場の代替品を綿密に精査しました。しかし、リーチ範囲、速度、精度、信頼性の高いハンドリングの最適な組み合わせを追求しています。このアプリケーションに最適なロボットだけが、承認を得ることができました。