Soluzioni avanzate per la manipolazione di fotomaschere e wafer

Nella produzione di semiconduttori, dove la lavorazione di wafer e fotomaschere è fondamentale, è fondamentale raggiungere il massimo livello di pulizia, precisione e affidabilità. I nostri robot sono progettati per soddisfare requisiti così severi

I robot Stäubli sono progettati con una profonda comprensione della necessità di ambienti controllati. Sono costruiti per ridurre al minimo le emissioni di particelle, un fattore cruciale quando qualsiasi particella può avere implicazioni sostanziali sui rendimenti di produzione.

Ad esempio, per il montaggio della pellicola della maschera, l'importanza della precisione robotica diventa ancora più pronunciata. I robot Stäubli sono abili nell'eseguire questo delicato compito: i loro movimenti controllati con precisione garantiscono un corretto allineamento per proteggere i reticoli per le successive fasi di litografia. Inoltre, l'ingombro compatto di questi robot consente di integrarli negli ambienti spazialmente limitati tipici delle camere bianche, senza sacrificare le loro prestazioni superiori.

In sintesi, i robot Stäubli forniscono un riferimento illustrativo per il tipo di apparecchiatura di automazione che supporta i rigorosi standard dell'industria dei semiconduttori.