Movimentazione, trasporto e stoccaggio di wafer carrier

La manipolazione di portawafer, come FOUP, SMIF e altri tipi di cassette aperte, è un compito delicato a causa della fragilità e dell'alto valore del contenuto. Poiché la lavorazione front-end nei FAB prevede più passaggi, i wafer devono essere trasferiti in modo rapido e sicuro da una macchina di processo all'altra. I supporti sono utilizzati anche per lo stoccaggio temporaneo dei wafer.

I sistemi integrati con i robot per camere bianche Stäubli, progettati specificamente per i severi requisiti delle camere bianche, possono garantire alta velocità e affidabilità nella movimentazione e nello stoccaggio dei wafer carrier. Ciò consente una maggiore produttività riducendo al minimo le emissioni di particelle. Inoltre, il loro ingombro compatto aiuta a risparmiare spazio per le apparecchiature di fabbricazione.