Manipulación, transporte y almacenamiento de portadores de obleas

La manipulación de soportes de obleas, como FOUP, SMIF y otros tipos de casetes abiertos, es una tarea delicada debido a la fragilidad y el alto valor de los contenidos. Dado que el procesamiento inicial en los FAB implica varios pasos, las obleas deben transferirse de forma rápida y segura de una máquina de proceso a la siguiente. Los portadores también se utilizan para el almacenamiento temporal de obleas.

Los sistemas integrados con los robots para salas blancas de Stäubli, diseñados específicamente para cumplir con los estrictos requisitos de las salas blancas, pueden garantizar una alta velocidad y fiabilidad en la manipulación y el almacenamiento de los portadores de obleas. Esto permite un mayor rendimiento al tiempo que minimiza las emisiones de partículas. Además, su tamaño compacto ayuda a ahorrar espacio para los equipos de fabricación.