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Los robots Stäubli Cleanroom cumplen con la norma ISO 14644-1 clase 2 (versión SCR) y clase 4 (versión CR) y cuentan con un brazo completamente cerrado con una superficie de poliuretano brillante, capaz de una gran destreza. En comparación con otros robots de obleas, los robots SCR y CR de Stäubli ofrecen mayor flexibilidad, mayor capacidad de carga y mayor alcance, satisfaciendo perfectamente los desafíos de manipulación de obleas/fotomáscaras/portadores/casetes. La huella compacta del brazo también ayuda a ahorrar espacio valioso en las máquinas dedicadas.
| Robots de 6 ejes | ||||
|---|---|---|---|---|
| Modelo |
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| Grados de libertad | 6 | 6 | 6 | 6 |
| Capacidad de carga (kg) | 4.5 / 3.7 | 14 / 12 / 7 | 40 | 40 / 25 |
| Alcance (mm) | 670 / 920 | 1000 / 1200 / 1450 | 1510 | 1710 / 2010 |
| Repetibilidad (mm) | ±0.02 | ±0.02 | ±0.015 | ±0.02/±0.03 |
Estándar de sala blanca: ISO 14644-1 |
Clase 2 |
Clase 2 |
Clase 4 |
Clase 4 |
Clase de protección (*muñeca) | IP65 (*IP67) | IP65 (*IP67) | IP65 (*IP67) | IP65 (*IP67) |
| Métodos de fijación | Posibilidad de montaje en 360° | Suelo o techo | ||
| Controlador Stäubli | CS9 | CS9 PM | ||
