Robots en la producción de semiconductores

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Almacenamiento asistido por robot de obleas de silicio

Una empresa especializada en satisfacer las necesidades de automatización de la industria de los semiconductores ha diseñado un impresionante concepto para el almacenamiento provisional de obleas en condiciones de sala blanca. Dentro de este innovador sistema, un robot Stäubli para sala blanca lleva a cabo complejas tareas de manipulación.

Las dimensiones de los semiconductores en la superficie de una oblea de silicio generalmente se miden en nanómetros. En estas circunstancias, está claro que cualquier partícula extraña, por pequeña que sea, puede perjudicar la función del microchip. Es por eso que los aproximadamente 100 pasos individuales de producción se llevan a cabo en un entorno de sala blanca.

Cuando las obleas deben almacenarse temporalmente, también deben conservarse en condiciones de sala blanca. Aquí es donde entra en juego el CubeStocker de Fabmatics. En el corazón del sistema se encuentra una Stäubli Super Cleanroom TX2-90XL montada sobre un pórtico de dos ejes que se encarga del almacenamiento y la recuperación con una eficiencia fluida y sin contaminación.

SOLUCIÓN

Dos en uno: búfer intermedio o sistema de almacenamiento para obleas de prueba

El CubeStocker es un sistema de almacenamiento totalmente automatizado para los transportadores en el que se transportan y almacenan obleas (capacidad máxima de 25). Un CubeStocker tiene capacidad para 200 portadores. Un sistema de transporte que corre a lo largo del techo de la sala blanca alimenta automáticamente a los transportadores dentro y fuera de las ubicaciones de almacenamiento individuales en la unidad de almacenamiento.

La particularidad del CubeStocker que se despliega aquí es que funciona dentro de su propia atmósfera de sala blanca ISO 3. De este modo, las obleas se almacenan temporalmente en condiciones absolutamente limpias antes del siguiente paso de procesamiento o entre ciclos de prueba, sin riesgo de contaminación.  

USO DEL CLIENTE

Robot "superlimpiador" protege carga valiosa

La manipulación de los portaobleas corre a cargo de un robot Stäubli de seis ejes para sala blanca. El equipo de diseño de Fabmatics optó por una Stäubli TX2-90XL con un alcance de 1.450 mm en la especificación Super Cleanroom (SCR), lo que la califica para su uso en entornos de salas limpias ISO Clase 2. El robot también obtiene altas calificaciones por su funcionamiento extremadamente suave, que se debe no solo a su tecnología patentada de accionamiento de alta precisión, sino también al rendimiento superior del controlador de robot Stäubli CS9.

¿Por qué se exigen tanto al rendimiento del robot? Martin Däumler, director de desarrollo de productos de Fabmatics, explica: "En pocas palabras, las obleas son frágiles, y el valor de las 25 obleas en un soporte está entre los 100.000 euros y el costo de una casa familiar. Por lo tanto, se debe garantizar en todas las circunstancias un manejo sin riesgos ni vibraciones, así como un posicionamiento preciso en el rango submilimétrico".