Halbleiter und Reinraum

Präzise und schnelle Reinraumroboter mit hoher Reinraumklassifizierung

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Hinsichtlich Präzision, Geschwindigkeit bei gleichzeitig reduzierter Partikelbelastung stellen die Elektronik- und Halbleiterfertigung hohe Ansprüche an die Automatisierung. Die Stäubli Reinraumroboter erlauben die Realisierung hocheffizienter Lösungen. Die High-Performance-Roboter zeichnen sich durch besonders schonende und vibrationsfreie Handhabung der hochempfindlichen Produkte aus. Unsere Roboter ermöglichen eine schonende und sichere Handhabung von Wafern, Carriern und Masken für alle Prozesse der Halbleiterfertigung mit extrem hoher Genauigkeit, hoher Geschwindigkeit und Bahngenauigkeit.

Merkmale und Vorteile

Die Roboter erfüllen ISO 14644-1 Klasse 2/3 oder FED209E Unterklasse 1 Standards, und zeichnen sich durch einen komplett gekapselten Arm mit einer glatten Polyurethan-Oberfläche und hoher Beweglichkeit in engster Umgebung aus. Eine kleine Stellfläche sorgt dafür, dass der Arbeitsbereich übersichtlich bleibt.

Erfolgsstories
[Translate to German:] TX60L cleanroom at SÜSS MicroTec

Automatisierte Handhabung von Wafern

Wenn Roboter Teile von A nach B bewegen, ist dies nicht wirklich spannend. Beim Handling teurer Wafer im Backendbereich sieht die Sache anders aus: Ein Reinraumroboter kann fatalen Waferbruch bei der Handhabung verhindern.

Branchenspezifische Roboterlösungen

Reinraumroboter

TX90L cleanroom 6 axis robot for sensitive environments

Die Industrieroboter der Baureihen Cleanroom (cr) und Supercleanroom (scr) sind speziell für die strengen Anforderungen in Reinräumen entwickelt.

Baureihen der Roboterarme cr/scr