Fotoğraf maskesi ve gofret kullanımı için gelişmiş çözümler

Gofret ve fotoğraf maskesi işlemenin kritik olduğu yarı iletken üretiminde, en yüksek düzeyde temizlik, doğruluk ve güvenilirlik elde etmek bir zorunluluktur. Robotlarımız bu tür katı gereksinimleri karşılayacak şekilde tasarlanmıştır

Stäubli robotları, kontrollü ortamlara duyulan ihtiyaç konusunda keskin bir anlayışla tasarlanmıştır. Partikül emisyonlarını en aza indirmek için üretilmiştir - herhangi bir partikülün üretim verimi üzerinde önemli etkileri olabileceği durumlarda çok önemli bir faktördür.

Örneğin, maske pelikül montajı için robotik hassasiyetin önemi daha da belirgin hale geliyor. Stäubli robotları bu hassas görevi yerine getirmede ustadır, hassas bir şekilde kontrol edilen hareketleri, sonraki litografi adımları için retikülleri korumak için uygun hizalamayı sağlar. Ayrıca, bu robotların kompakt ayak izi, üstün performanslarından ödün vermeden, temiz odalara özgü mekansal olarak kısıtlı ortamlara entegre edilebilecekleri anlamına gelir.

Özetle, Stäubli'nin robotları, yarı iletken endüstrisinin titiz standartlarını destekleyen otomasyon ekipmanı türü için açıklayıcı bir referans sağlar.  

Fotoğraf maskesi kullanımı

Nişangah/fotoğraf maskesinin uygulanması, pelikülün montajı, fotoğraf maskesinin temizlenmesi ve incelenmesi gibi son derece hassas görevler için Stäubli robotları en düşük titreşim seviyesini, düzgün yörüngeleri ve yüksek yol doğruluğunu sunar. Ayrıca en yüksek düzeyde temizlik için ISO sınıf 2'ye kadar uyumluluk sağlarlar.

İşleme için gofret işleme

FAB'lerde, bir gofret, daha önce tasarlanmış olan hassas mikro yapıyı oluşturmak için yüzlerce farklı işlemden geçer. Bu işlemler oksidasyon, litografi, biriktirme, CMP ve daha fazlasını içerir.

Başarı Hikayesi

Özel ürünlerimiz

Yarı iletkenler için tasarlandı

Süper Temiz Oda (SCR) ve Temiz Oda (CR) 6 eksenli robotlar, temiz odaların katı gereksinimlerini karşılamak üzere tasarlanmıştır.
Daha fazla bilgi