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Halbleitertechnik

Unsere Reinraum-Roboterlösungen vereinen Präzision, Geschwindigkeit und Sauberkeit

Hinsichtlich Präzision und Geschwindigkeit bei gleichzeitig reduzierter Partikelbelastung stellen die Elektronik- und Halbleiterfertigung hohe Ansprüche an die Automatisierung. Stäubli Reinraumroboter erlauben die Realisierung hocheffizienter Lösungen. Unsere Roboter können in der gesamten Wertschöpfungskette der Halbleiterfertigung Siliziumwafer, FOUPs/Kassetten sowie Fotomasken und Panels mit außergewöhnlich hoher Präzision und Geschwindigkeit und mit vibrationsarmen Bewegungen handhaben. 

Fotomaske

Die Supercleanroom-Roboter (scr) erfüllen auf ideale Weise die Anforderungen an das Handling von Fotomasken für Prozesse wie etwa die Reinigung und Prüfung.

Frontend – Waferherstellung

Stäubli bietet beim Handling von Wafern (in Einzelstücken oder im Batch-Verfahren) bzw. von FOUPs/Kassetten maximale Geschwindigkeit, Flexibilität und Zuverlässigkeit für die komplexen Frontend-Prozesse der Halbleiterfertigung, beispielsweise beim Polieren, Ätzen, Reinigen und bei Lithografieverfahren.

Backend – Montage, Packaging und Prüfung

Herstellerunternehmen in aller Welt wissen unsere SCR-Roboter bei den Backend-Prozessen der Halbleiterfertigung für innovative Verfahren wie das Waferbonden und das Panel-Level-Packaging zu schätzen.

Erfolgsgeschichten

Unsere Spezialprodukte