Handhabung, Transport und Lagerung von Wafer-Carriern

Die Handhabung von Waferträgern wie FOUP, SMIF und anderen Arten von offenen Kassetten ist aufgrund der Zerbrechlichkeit und des hohen Wertes des Inhalts eine heikle Aufgabe. Da die Frontend-Verarbeitung in FABs aus mehreren Schritten besteht, müssen die Wafer schnell und sicher von einer Prozessmaschine zur nächsten transportiert werden. Die Träger werden auch für die Zwischenlagerung von Wafern verwendet.

Systeme, die Stäubli-Reinraumroboter integriert haben, und damit speziell für die strengen Anforderungen von Reinräumen konzipiert wurden, können hohe Geschwindigkeit und Zuverlässigkeit bei der Handhabung und Lagerung von Waferspeichern gewährleisten. Dies ermöglicht einen höheren Durchsatz bei gleichzeitiger Minimierung der Partikelemissionen. Darüber hinaus trägt ihre kompakte Stellfläche dazu bei, Platz für Fertigungsanlagen zu sparen.