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Stäubli Reinraumroboter erfüllen die ISO 14644-1 Klasse 2 (SCR-Version) und Klasse 4 (CR-Version) und verfügen über einen komplett gekapselten Arm aus Polyurethan mit spezieller glänzender Beschichtung. Im Vergleich zu anderen Wafer-Handling-Robotern bieten die Stäubli SCR- und CR-Sechsachser eine größere Flexibilität, eine höhere Tragfähigkeit und eine größere Reichweite und sind damit perfekt für die die Anforderungen beim Handling von Wafern, Fotomasken, Carriern und Kassetten geeignet. Der geringe Platzbedarf des Roboters hilft darüber hinaus, wertvollen Platz in Spezialmaschinen einzusparen.
| Sechsachsroboter | ||||
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| Typ |
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| Anzahl Freiheitsgrade | 6 | 6 | 6 | 6 |
| Traglast (kg) | 4.5 / 3.7 | 14 / 12 / 7 | 40 | 40 / 25 |
| Reichweite (mm) | 670 / 920 | 1000 / 1200 / 1450 | 1510 | 1710 / 2010 |
Wiederholgenauigkeit (mm) | ±0.02 | ±0.02 | ±0.015 | ±0.02/±0.03 |
Reinraum Standard: ISO 14644-1 |
Klasse 2 |
Klasse 2 |
Klasse 4 Klasse 10 |
Klasse 4 Klasse 10 |
Schutzklasse (*Handgelenk) | IP65 (*IP67) | IP65 (*IP67) | IP65 (*IP67) | IP65 (*IP67) |
| Montagemöglichkeiten | 360° | Boden/Decke | ||
| Stäubli Steuerung | CS9 | CS9 MP | ||
