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史陶比尔集团

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半导体

我们的洁净室机器人解决方案可同时实现精度、速度和清洁度要求。

电子和半导体行业在精度、速度和减少颗粒排放物方面要求严苛。根据这些行业的工业机器人需求,史陶比尔推出性能卓越的洁净室机械臂系列,满足高灵敏度的应用要求。我们的工业机器人可以极其精确、高速和平稳地操作半导体整体生产价值链中的硅晶片、晶圆传送盒(FOUP)/盒式磁带、光掩模和面板。 

光掩模

史陶比尔超洁净室(SCR)机器人可完美应对清洁和检验等工序中的各种光掩模处理难题。

前端 – 晶圆片制造

史陶比尔可在半导体制造的复杂前端工艺(例如抛光、蚀刻、光刻、清洁等)过程中,高速、灵活和可靠地处理晶圆片(单件或批量)或晶圆传送盒(FOUP)/盒式磁带。

后端——组装、封装和测试

我们的SCR机器人具备晶圆键合和面板级封装等创新工艺,在半导体后端工艺中备受全球制造商的青睐。

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