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SÜSS MicroTec confía en el robot de sala blanca Stäubli TX60L de alta precisión para garantizar una manipulación ultrasegura de las obleas en los sofisticados procesos de recubrimiento.
Los robots que mueven componentes de A a B pueden parecer un procedimiento rutinario. Sin embargo, es una cuestión muy diferente cuando se manejan obleas de silicio en el área de back-end, ya que en esta etapa, un solo disco puede valer varios miles de euros. SÜSS MicroTec ha optado por el robot Stäubli TX60L CR (Cleanroom) de alta precisión para garantizar un manejo ultraseguro de esta preciosa carga.
Efectivamente, Asia tiene un dominio absoluto en el mercado de los semiconductores, pero el Grupo SÜSS MicroTec es capaz de competir al mismo nivel en lo que respecta al procesamiento de obleas. Una de las empresas del grupo es SÜSS MicroTec Lithography GmbH que, como su nombre indica, está especializada en el uso de la litografía para el procesamiento de obleas en el área de back-end y ofrece una amplia gama de productos de recubridores y reveladores.
Su completo dominio de los procesos, así como el manejo rápido, preciso y fiable de las obleas con tasas de rotura insignificantes en el rango de ppm son argumentos que han convencido a clientes de todo el mundo. Otra de las razones de su competitividad en el mercado asiático es la flexibilidad. El fabricante alemán de equipos especializados tiene un nivel de experiencia excepcionalmente alto en lo que respecta a la adaptación de plantas específicas para el cliente, mientras que sus competidores asiáticos se centran principalmente en la construcción de sistemas estándar.
Incluso en la configuración estándar, los sistemas están diseñados para ser altamente flexibles, como lo ejemplifica el grupo de desarrollo y recubrimiento modular ACS 300 Gen2. El sistema se puede utilizar sin modificaciones mecánicas para el procesamiento de obleas de 200 mm y 300 mm. Las principales áreas de aplicación se encuentran en procesos de recubrimiento sofisticados, en aplicaciones de envasado a nivel de oblea y en la integración 3D. Todas las tareas de manipulación dentro de la planta son llevadas a cabo por el robot de sala blanca de alta precisión Stäubli TX60L CR. En el área de back-end, las especificaciones para salas limpias van desde ISO 3 hasta ISO 4 y se cumplen fácilmente con la versión para salas limpias de la TX60L.
Los sistemas MicroTec de SÜSS están sujetos a exigencias muy altas en términos de fiabilidad, repetibilidad, tiempo de actividad y manejo seguro, ya que aproximadamente el 90 por ciento de los pasos de producción ya se han completado en esta etapa. Por lo tanto, sería catastrófico que una de las obleas más caras se rompiera.
En comparación con los robots de tres brazos que prevalecen en la industria y que tienen libertad de movimiento en solo tres planos, el de seis ejes de Stäubli es mucho más flexible. La TX60L , en particular, con su largo brazo, es capaz de llegar mucho más lejos. El espacio de trabajo más grande permite una disposición mucho más flexible de los módulos dentro del sistema. Además, la TX60L tiene una mayor precisión de colocación y una repetibilidad superior en comparación con los sistemas de tres enlaces, lo cual es un criterio decisivo en la eliminación del cordón del borde de la oblea.
El robot tiene que ser muy preciso al colocar las obleas en los módulos de proceso. Con la Stäubli TX60L de alta precisión se ha alcanzado el objetivo declarado de lograr una precisión absoluta de colocación de ± 50 micras en los módulos. Esto se debe, en gran parte, a la tecnología de accionamiento JCM patentada del robot Stäubli.
La alta precisión de trayectoria del robot también es una ventaja importante al recoger e insertar obleas. Sin el menor atisbo de temblor, el robot maneja las costosas obleas con una fiabilidad ejemplar. En consecuencia, la rotura de las obleas es inaudita. Los tiempos de ciclo del sistema varían considerablemente en función de la tarea a realizar. Los tiempos de módulo son los elementos limitantes para ciertas secuencias, mientras que para otras tareas, es el tiempo de ciclo del propio robot el factor determinante. En ambos casos, la planta se beneficia de los tiempos de ciclo ultrarrápidos del robot industrial Stäubli, que trabaja con la máxima precisión a pesar de las altas fuerzas de aceleración, evitando con seguridad daños en la oblea.
El hecho de que en los innovadores clústeres ACS300 Gen2 construidos por SÜSS solo se utilicen robots de 6 ejes producidos por Stäubli no es casualidad. El procedimiento de selección implicó un examen minucioso de las alternativas en el mercado. Pero en la búsqueda de la combinación óptima de alcance, velocidad, precisión y manejo confiable; Solo el mejor robot para esta aplicación iba a obtener la aprobación.
