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Les robots Stäubli pour salles blanches sont conformes aux normes ISO 14644-1 classe 2 (version SCR) et classe 4 (version CR) et disposent d'un bras totalement fermé avec une surface en polyuréthane brillant, capable d'une grande dextérité. Comparés à d'autres robots de transfert de wafers, les robots Stäubli SCR et CR offrent une plus grande flexibilité, une plus grandecharge admissible et un plus grand rayon d'action, répondant ainsi parfaitement aux défis de la manipulation des wafers, photomasques, supports et cassettes. L'empreinte compacte du bras permet également d'économiser un espace précieux dans les machines dédiées.
| Robots 6 axes | ||||
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| Modèles |
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| Nombre de degrés de liberté | 6 | 6 | 6 | 6 |
| Charge admissible (kg) | 4.5 / 3.7 | 14 / 12 / 7 | 40 | 40 / 25 |
| Rayon d'action (mm) | 670 / 920 | 1000 / 1200 / 1450 | 1510 | 1710 / 2010 |
| Répétabilité (mm) | ±0.02 | ±0.02 | ±0.015 | ±0.02/±0.03 |
Standard Cleanroom: ISO 14644-1 |
Classe 2 |
Classe 2 |
Classe 4 Classe 10 |
Classe 4 |
Classe de protection (*poignet) | IP65 (*IP67) | IP65 (*IP67) | IP65 (*IP67) | IP65 (*IP67) |
| Modes de fixation | Possibilité de montage à 360° | Sol ou plafond | ||
| Contrôleur Stäubli | CS9 | CS9 MP | ||
