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Semi-conducteurs

Nos solutions robotiques pour la salle blanche allient précision, vitesse et propreté

Les industries de l’électronique et des semi-conducteurs sont particulièrement exigeantes quand il s’agit de précision, de vitesse et de réduction des émissions de particules. Pour répondre à leurs besoins en robotique, Stäubli propose une ligne ultra-haute performance de bras robotiques pour salle blanche pour des applications hautement sensibles. Nos robots peuvent manipuler des wafers, des FOUP/cassettes, ainsi que des photomasques et panneaux dans toute la chaîne de valeur de production avec une précision exceptionnelle, une vitesse élevée et des trajectoires en douceur. 

Photomasque

Les robots salle blanche SCR (Stäubli Super Cleanroom) relèvent parfaitement les défis des manipulations de photomasques pour des processus tels que le nettoyage et l’inspection.

Frontend : fabrication de wafers

Stäubli offre la plus grande vitesse, flexibilité et fiabilité lors de la manipulation de wafers (à l’unité ou en lots) ou de FOUP/cassettes pour les processus frontend complexes et la fabrication de semi-conducteurs, tels que le polissage, la gravure, la lithographie, le nettoyage, etc.

Backend : assemblage, emballage et tests

Dans les processus back end de semi-conducteurs, nos robots SCR sont appréciés par les fabricants du monde entier dans les processus novateurs tels que le collage de wafers et l’emballage de niveaux de panneaux.

Success Story

Nos produits dédiés

Conçus pour les semi-conducteurs

Les robots 6 axes pour salles blanches (Cleanroom) sont conçus pour répondre aux exigences strictes des salles blanches. Ils répondent aux normes ISO 14644-1 classe 2/3 ou FED-STD-209 E sous-classe 1 et comprennent un bras entièrement encapsulé avec une surface en polyuréthane brillante, capable d’une dextérité élevée. Comparés aux autres robots pour wafer, les robots Stäubli peuvent offrir une plus grande flexibilité et des charges utiles et rayons d'actions supérieurs, en relevant parfaitement les défis de la manipulation de wafer/photomasque/cassette. Compactes, ils aident également à gagner un espace précieux dans les machines dédiées. 

Plus d’informations

Semi-conducteur : transport de machine

AGV version salles blanches destiné à répondre aux exigences rigoureuses de l’industrie des semi-conducteurs.

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