Manutention, transport et stockage des supports de wafers

La manipulation de supports de wafers, tels que FOUP, SMIF et d’autres types de cassettes ouvertes, est une tâche délicate en raison de la fragilité et de la valeur élevée du contenu. Étant donné que le traitement frontal dans les FAB implique plusieurs étapes, les wafers doivent être transférés rapidement et en toute sécurité d’une machine de traitement à l’autre. Les supports sont également utilisés pour le stockage temporaire de plaquettes.

Les systèmes intégrés aux robots de salle blanche Stäubli, spécialement conçus pour répondre aux exigences strictes des salles blanches, peuvent garantir une vitesse et une fiabilité élevées dans la manipulation et le stockage des porte-plaquettes. Cela permet d’augmenter le débit tout en minimisant les émissions de particules. De plus, leur encombrement réduit permet d’économiser de l’espace pour les équipements de fabrication.