半导体与洁净室

精准、快速、洁净的净室专用机器人

在精度、速度和减少颗粒排放量方面,电子和半导体行业的要求尤为苛刻。 为了满足其对机器人的需要,史陶比尔专为半导体工业敏感环境设计了超高性能净室机器人系列手臂。我们的机器人适用半导体硅片制造,并且精确度极高、速度极快、轨迹平滑。

技术特性及优势

史陶比尔洁净室机器人符合洁净室标准 ISO 14644-1  2级/3级, 或 FS 209E 1级,具有全封闭式手臂结构,光滑的聚亚氨酯表面及高灵巧性。同时机器人底座面积小,易于在狭小空间运行,保持工作区域整洁。

成功案例

机器人搬运硅晶圆

瑞士SÜSS MicroTec公司青睐史陶比尔TX60L cr 净室机器人,用于超高稳定性要求的搬运硅片自动化涂胶工序中。

半导体与洁净室专用机器人系列

洁净室机器人

TX90L cleanroom 6 axis robot for sensitive environments

净室 (CR) 和超净室 (SCR) 机器人是专为满足洁净环境的要求而开发的。

CR/SCR 机器人系列