Nos solutions robotiques pour la salle blanche allient précision, vitesse et propreté

Les robots salle blanche SCR (Stäubli Super Cleanroom) relèvent parfaitement les défis des manipulations de photomasques pour des processus tels que le nettoyage et l’inspection.

Stäubli offre la plus grande vitesse, flexibilité et fiabilité lors de la manipulation de wafers (à l’unité ou en lots) ou de FOUP/cassettes pour les processus frontend complexes et la fabrication de semi-conducteurs, tels que le polissage, la gravure, la lithographie, le nettoyage, etc.

Dans les processus back end de semi-conducteurs, nos robots SCR sont appréciés par les fabricants du monde entier dans les processus novateurs tels que le collage de wafers et l’emballage de niveaux de panneaux.