Semi-conducteur et salle blanche

Nos robots Cleanroom conjuguent précision, vitesse et propreté

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Les industries de l'électronique et du semi-conducteur sont particulièrement exigeantes en matière de précision, de vitesse et de faibles émissions de particules. Pour ces industries, Stäubli apporte des solutions robotiques ultra-performantes. Notre gamme de bras robotisés Cleanroom (Salle Blanche) permet de réaliser des applications extrêmement délicates. Ainsi, nos robots sont en mesure de manipuler des tranches de silicium lors de la fabrication des semi-conducteurs, avec une précision exceptionnelle, une vitesse élevée et des trajectoires fluides.

Caractéristiques | Avantages

  • Propreté : classe 2/3 selon la norme ISO 14644-1 et subclass1 selon la norme FED209E ;
  • Faible emprise au sol ;
  • Grande dextérité ;
  • Surface lisse, peinture polyuréthane ;
  • Bras complètement capoté.
Success story

Un robot manipule avec sûreté des wafers

SÜSS MicroTec utilise un robot Stäubli TX60L Cleanroom haute précision pour garantir une manipulation ultra-sûre des wafers dans un processus de revêtement sophistiqué.

Notre gamme dédiée

Robots Cleanroom

Robot Stäubli 6 axes TX90L cleanroom (salle blanche)

Les robots Cleanroom (cr) et Super Cleanroom (scr) sont conçus pour répondre aux exigences strictes des salles blanches.

Gamme de bras robotisés cr/scr