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Halbleitertechnik

Unsere Reinraum-Roboterlösungen vereinen Präzision, Geschwindigkeit und Sauberkeit

Die Elektronik- und Halbleiterindustrien stellen hohe Anforderungen an Präzision, Geschwindigkeit und niedrige Partikelemissionen. Um diese Bedürfnisse zu erfüllen, bietet Stäubli eine Reihe von Reinraum-Roboterarmen an, die speziell für hochsensible Anwendungen entwickelt wurden. Unsere Roboter sind in der Lage, Siliziumwafer, Wafer-Carrier, Fotomasken und Panels während der gesamten Wertschöpfungskette der Halbleiterfertigung mit extremer Genauigkeit, hoher Geschwindigkeit und sanften Bewegungen zu handhaben.

Fotomaske

Die Supercleanroom-Roboter (scr) erfüllen auf ideale Weise die Anforderungen an das Handling von Fotomasken für Prozesse wie etwa die Reinigung und Prüfung.

Wafer-Carrier

Das Handling, der Transport und die Lagerung von Wafer-Carriern (FOUP oder Kassette) in FABs können dank der hohen Präzision und Sauberkeit perfekt mit Stäubli-Robotern bewältigt werden.

Wafer und Panel

Stäubli bietet höchste Geschwindigkeit, Flexibilität und Zuverlässigkeit für das Handling von Wafern (einzeln oder in Batches) oder Panels in den komplexen Front-End-Prozessen der Halbleiterfertigung, einschließlich Polieren, Ätzen, Lithografie, Reinigung und mehr.

Anforderungen von Robotik-Anwendern

Sauberkeit

Klassifizierung bis ISO 2, um Partikelverunreinigungen auszuschließen.

Präzision und sanftes Bahnfahren

Muss mit absoluter Genauigkeit erfolgen.

Hohe Zuverlässigkeit

Der Roboter besticht auch nach jahrelangem Einsatz durch beste Leistung.

Geringer Platzbedarf

Große Reichweite bei kleiner Stellfläche, wendig und geeignet für kleine Einbauflächen.

Unsere branchenspezifische Produktreihe

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