Belgien EN | FR | NL
Bulgarien | EN | BG
Dänemark | EN
Deutschland | EN | DE
Estland | EN
Finnland | EN
Frankreich | EN | FR

GriechenlandEN
Italien | EN | IT
Luxemburg | EN | FR
Niederlande | EN | NL
Norwegen | EN
Österreich | EN | DE
Polen | EN | PL

Portugal | EN | PT
RumänienEN | RO
Schweden | EN
Schweiz | EN | DE | FR
Serbien | EN | SR
Slowakei | EN | SK
Slowenien | EN | SL

Spanien | EN | ES
Tschechische Republik | EN | CS
Ungarn | EN | HU
Vereinigtes Königreich (GB) | EN

Argentinien | EN
Bolivien | EN
Brasilien | EN | BR
ChileEN
EcuadorEN

Kolumbien | EN
Mexiko | EN
Peru | EN
USA | EN
Venezuela | EN


Bangladesch EN
China | EN | 简体中文
Hong Kong SAR EN | 繁體中文
Indien | EN
Indonesien | EN | ID

Israel | EN
Japan | EN | JA
Pakistan | EN
Singapur | EN
Südkorea | EN | 한국어

Taiwan (Chinese Taipei) | EN | 繁體中文
Thailand | EN | TH
Türkei | EN | TK
Usbekistan | EN | UZ
Vietnam | EN | VN

ÄgyptenEN
Australien | EN
MarokkoEN
SüdafrikaEN | FR

Halbleitertechnik

Unsere Reinraum-Roboterlösungen vereinen Präzision, Geschwindigkeit und Sauberkeit

Hinsichtlich Präzision und Geschwindigkeit bei gleichzeitig reduzierter Partikelbelastung stellen die Elektronik- und Halbleiterfertigung hohe Ansprüche an die Automatisierung. Stäubli Reinraumroboter erlauben die Realisierung hocheffizienter Lösungen. Unsere Roboter können in der gesamten Wertschöpfungskette der Halbleiterfertigung Siliziumwafer, FOUPs/Kassetten sowie Fotomasken und Panels mit außergewöhnlich hoher Präzision und Geschwindigkeit und mit vibrationsarmen Bewegungen handhaben. 

Fotomaske

Die Supercleanroom-Roboter (scr) erfüllen auf ideale Weise die Anforderungen an das Handling von Fotomasken für Prozesse wie etwa die Reinigung und Prüfung.

Frontend – Waferherstellung

Stäubli bietet beim Handling von Wafern (in Einzelstücken oder im Batch-Verfahren) bzw. von FOUPs/Kassetten maximale Geschwindigkeit, Flexibilität und Zuverlässigkeit für die komplexen Frontend-Prozesse der Halbleiterfertigung, beispielsweise beim Polieren, Ätzen, Reinigen und bei Lithografieverfahren.

Backend – Montage, Packaging und Prüfung

Herstellerunternehmen in aller Welt wissen unsere SCR-Roboter bei den Backend-Prozessen der Halbleiterfertigung für innovative Verfahren wie das Waferbonden und das Panel-Level-Packaging zu schätzen.

Erfolgsgeschichten

Unsere Spezialprodukte

Mitglied von SEMI

KONTAKT

Nehmen Sie mit unseren Experten Kontakt auf