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Semi-conducteurs

Nos solutions robotiques pour la salle blanche allient précision, vitesse et propreté

Les industries de l’électronique et des semi-conducteurs sont particulièrement exigeantes quand il s’agit de précision, de vitesse et de réduction des émissions de particules. Pour répondre à leurs besoins en robotique, Stäubli propose une ligne ultra-haute performance de bras robotiques pour salle blanche pour des applications hautement sensibles. Nos robots peuvent manipuler des wafers, des FOUP/cassettes, ainsi que des photomasques et panneaux dans toute la chaîne de valeur de production avec une précision exceptionnelle, une vitesse élevée et des trajectoires en douceur. 

Photomasque

Les robots salle blanche SCR (Stäubli Super Cleanroom) relèvent parfaitement les défis des manipulations de photomasques pour des processus tels que le nettoyage et l’inspection.

Frontend : fabrication de wafers

Stäubli offre la plus grande vitesse, flexibilité et fiabilité lors de la manipulation de wafers (à l’unité ou en lots) ou de FOUP/cassettes pour les processus frontend complexes et la fabrication de semi-conducteurs, tels que le polissage, la gravure, la lithographie, le nettoyage, etc.

Backend : assemblage, emballage et tests

Dans les processus back end de semi-conducteurs, nos robots SCR sont appréciés par les fabricants du monde entier dans les processus novateurs tels que le collage de wafers et l’emballage de niveaux de panneaux.

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