Get the Flash Player  to see this animation/video.

Решения с использованием роботов для полупроводниковой промышленности и работы в чистых помещениях

Роботы Stäubli для работы в чистых помещениях предлагают высокоэффективные решения по автоматизации в электронной, полупроводниковой и других отраслях промышленности. Они выполняют множество операций, требующих точного управления, таких как деликатная и плавная работа с рабочей средой при производстве полупроводников, с исключительной точностью, высокой скоростью и значительным сокращением попадания посторонних частиц в окружающую среду.

Роботы отвечают стандартам ISO 14644-1 класс 2/3 или FED209E подкласс 1 и оснащены полностью закрытыми манипуляторами с полированной полиуретановой поверхностью, обеспечивающей прекрасные манипуляционные возможности. Компактное посадочное место помогает убрать лишние помехи в рабочей зоне.

Прикладные задачи для работы с полупроводниками и в чистых помещениях

Загрузка и разгрузка углеродных кассет для полупроводниковых пластин  в фотовольтаике: конструкция захватного устройства обеспечивает ненагруженную обработку чувствительных фотогальванических полупроводниковых пластин.

Stäubli RX60 SCR, установленный на вертикальной дорожке в накопительной системе, обеспечивает погрузку/разгрузку 300-миллиметровых полупроводниковых пластин в соответствии с условиями ISO 2/3.

Безвибрационная погрузка/разгрузка кварцевых кассет для полупроводниковых пластин со 150 пластинами. Робот ISO 4 перемещает кассету перед термокамерой.

Погрузка/разгрузка полупроводниковых пластин и кассет в соответствии с условиями ISO 2/3. Использование робота увеличивает производительность и значительно снижает количество попадающих в окружающую среду посторонних частиц.