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クリーンルームおよび半導体製造用ストーブリ製ロボットによる自動化ソリューション
ストーブリのクリーンルームロボットは、精密な制御を必要とする電子機器や半導体工程において、円滑で高精度な動作によって力を発揮します。
特徴/利点
- FED209E クラス2/3、またはFED209E サブクラス1に対応
- コンパクトな設置面積
- 優れた精度
- スムーズなポリウレタン表面仕上げ
- 完全密閉構造のアーム
太陽電池産業におけるカーボンボートのローディングおよびアンローディング。
端部作動体の設計によって、繊細なPVウエハーをストレスなく取り扱うことができます。
ストッカーシステムの垂直トラックに取り付けられたRX60SCRは、ISO 2/3に準拠した環境において、300 mmのウエハをローディング/アンローディングします。
150個のウエハが充填された石英ボートを、振動を与えることなく扱うことができます。ISO 4ロボットは、焼成炉の前までボートを移動させます。
ISO 2/3に準拠した環境におけるウエハおよびキャリアのハンドリング
ロボットの導入によって、処理能力の向上と微粒子の減少が実現します。