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クリーンルームおよび半導体製造用ストーブリ製ロボットによる自動化ソリューション
ストーブリのクリーンルームロボットは、精密な制御を必要とする電子機器や半導体工程において、高効率の自動化を提案します。半導体製造工程におけるウェハのスムースで微細なハンドリングのための精密動作など、様々なアプリケーションに性能を発揮します。特にパーティクルが許されない環境で、高精密・高速動作は生産性を大きく改善します。
特徴/利点
完全密閉構造でスムースなポリウレタン表面仕上げのアームにより、ISO 14644-1 クラス2/3、またはFED209E サブクラス1に対応し、精密な動作を提供します。さらにロボットのコンパクトな設置面積は設置場所の省スペース化に貢献します。
半導体・クリーンルームアプリケーション
太陽電池産業におけるカーボンボートのローディングおよびアンローディング。ロボット先端ツールは、繊細なPVウエハーを無理なく取り扱うことができるよう設計されています。
ストッカーシステムの垂直トラックに取り付けられたRX60SCRが、ISO 2/3に準拠した環境において、300 mmのウエハの積み下ろしをする例です。
150個のウエハを積んだ石英ボートを、振動を与えることなく扱うことができます。クラスISO 4対応のロボットが、焼成炉の前までボートを移動させます。
ISO 2/3に準拠した環境におけるウエハおよびキャリアのハンドリング例。ロボットの導入により、処理能力の向上とパーティクルの減少を実現します