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Solutions Salle Blanche et Semi-conducteur de Stäubli

Les robots Salle Blanche de Stäubli sont particulièrement adaptés aux industries de l'électronique et du semi-conducteur pour réaliser des applications délicates comme la manipulation de tranches de silicium lors de la fabrication des semi-conducteurs, avec une précision exceptionnelle, une vitesse élevée et une réduction significative des particules.

Caractéristiques / Avantages

  • Propreté : classe 2/3 selon la norme ISO 14644-1 et subclass1 selon la norme FED209E
  • Faible emprise au sol
  • Grande dextérité
  • Surface lisse, peinture polyuréthane
  • Bras complètement capoté

Applications Semi-conducteur et Salle Blanche

Chargement déchargement d'éléments photovoltaïques pour l'industrie solaire. Le préhenseur assure une manipulation délicate des wafers photovoltaïques qui sont extrêmement fragiles.

Un robot RX60 SCR monté sur un axe linéaire dans un stocker manipule des tranches de silicium de 300 mm en environnement propre ISO 2/3.

Manipulation sans vibrations d'un container rempli de 150 wafers : le robot propre IS0 4 déplace l'ensemble devant un four. 

Manipulation de wafers dans un environnement propre ISO 2/3 : l'utilisation d'un robot améliore la productivité tout en réduisant le nombre de particules émises.