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Soluciones robóticas para semiconductores y sala blanca

Los robots Stäubli cleanroom ofrecen soluciones de automatización altamente eficaces en electrónica, semiconductores y otras industrias. Realizan diversas aplicaciones controladas de forma precisa, como la manipulación delicada y suave de todos los medios en procesos de semiconductores, con excepcional precisión a alta velocidad, y una mejora drástica de la reducción de partículas.

Los robots cumplen los estándares ISO 14644-1 clase 2/3 o FED209E subclase 1, y presentan un brazo completamente cerrado con una superficie de poliuretano brillante, con capacidad para trabajar con elevada agilidad. Un formato compacto ayuda a mantener el lugar de trabajo ordenado.

Aplicaciones para semiconductores y sala blanca

Carga y descarga de un soporte de obleas de carbono en la industria fotovoltaica: El diseño del efector final asegura la manipulación libre de tensiones de obleas fotovoltaicas sensibles.

Un RX60 SCR de Stäubli montado en una pista vertical en un sistema almacenador carga y descarga obleas de 300 mm en un entorno ISO 2/3.

Manipulación sin vibraciones de un soporte de obleas de cuarzo con 150 obleas. El robot ISO 4 mueve el soporte de obleas delante de un horno.

La manipulación de la oblea y el transportador se realiza en un entorno ISO 2/3. El uso de un robot aumenta el rendimiento y reduce en gran medida las partículas.