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Stäubli Reinraumlösungen
Die Stäubli Reinraumroboter entsprechen den Anforderungen der Elektronik- und Halbleiterindustrie. Sie werden in allen Prozessen der Halbleiterfertigung eingesetzt und zeichnen sich durch besonders schonende und vibrationsfreie Handhabung von Carriern, Wafern und Masken aus..
Merkmale / Vorteile
- ISO 14644-1 Klasse 2/3 oder FED209E Subclass 1
- Kleiner Footprint
- Hohe Beweglichkeit in engster Umgebung
- Glatte Polyurethan-Oberfläche
- komplett gekapselter Arm
Be- und Entladen von Wafern in der Photovoltaik-Industrie
Das Design des Endeffektors sorgt für eine stressfreie Handhabung der empfindlichen Photovoltaik-Wafer.
Ein auf einer Vertikalverfahrachse montierter RX60SCR beim Be-/Entladen von 300-mm-Stockers in ISO-2/3-Umgebung.
Erschütterungsfreie Handhabung eines mit 150 Wafern beladenen Quartz-Bootes. Der Roboter bewegt die Wafer zur Be- und Entladeposition eines Horizontalofens.
Handhabung von Wafern und Carriern in einer ISO-2/3-Umgebung.
Der Einsatz eines Roboters erhöht den Durchsatz und ermöglicht die Reduzierung von Partikeln.
