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Reinraumroboter für die Halbleiterindustrie

Stäubli Reinraumroboter erlauben die Realisierung hocheffizienter Automatisierungslösungen in der Elektronik- und Halbleiterindustrie sowie in weiteren sensiblen Industriebereichen. Sie werden in allen Prozessen der Halbleiterfertigung eingesetzt und zeichnen sich durch besonders schonende und vibrationsfreie Handhabung von Carriern, Wafern und Masken aus. Mit ihrer einzigartigen Performance sorgen sie für kürzeste Zykluszeiten bei gleichzeitg signifikant reduzierter Partikelbelastung.

Merkmale und Vorteile

  • ISO 14644-1 Klasse 2/3 oder FED209E Subclass 1
  • Kleine Stellfläche
  • Hohe Beweglichkeit in engster Umgebung
  • Glatte Polyurethan-Oberfläche
  • Komplett gekapselter Arm

Anwendungen in Rein- und Reinsträumen

Be- und Entladen von Wafern in der Photovoltaik-Industrie.
Die Präzision des Stäubli Roboters sorgt für eine schonende und sichere Handhabung der empfindlichen Photovoltaik-Wafer.

Ein auf einer Vertikalverfahrachse montierter RX60 scr beim Be-/Entladen von 300-mm-Stockers in ISO-2/3-Umgebung.

Erschütterungsfreie Handhabung eines mit 150 Wafern beladenen Quartz-Bootes. Der Reinraumroboter bewegt die Wafer zur Be- und Entladeposition eines Horizontalofens.

Handhabung von Wafern und Carriern in einer ISO-2/3-Umgebung. Der Einsatz eines Stäubli Supercleanroom-Roboters sorgt für erhöhten Durchsatz bei minimierter Partikelbelastung.