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史陶比尔净室和半导体工业解决方案
史陶比尔净室机器人特别适用于电子和半导体工业，完成要求精确控制的应用，如精确稳定的处理半导体工艺流程中的应用。
特点 / 优势
- ISO 14644-1 等级 2/3 或者FED209E 次等级 1；
- 底座面积小；
- 柔性好；
- 光滑的聚亚氨酯表面；
- 手臂完全密封。
光伏工业碳舟的装卸载。
末端的受动器设计保证了对压力敏感的光伏晶片的安全搬运。
RX60SCR型机器人在ISO2/3环境等级的储存系统中，安装在一个垂直轨道上装载300mm的晶片。
无振动地搬运装有150块晶片的石英舟。符合ISO4环境等级的机器人将载片舟搬运到处理炉前。
ISO2/3环境等级下的晶片搬运。
使用机器人来增加搬运效率同时可以减少尘埃粒子。