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Soluções robóticas de semicondutores e salas limpas

Os robôs Stäubli para salas limpas oferecem soluções de automação altamente eficazes para a indústria eletrônica, de semicondutores e outras. Eles realizam uma variedade de aplicações controladas com precisão, como a manipulação delicada e suave de todos os meios em processos de semicondutores, com precisão excepcional, alta velocidade e redução de partículas dramaticamente melhorada.

Os robôs estão em conformidade com os padrões ISO 14644-1 classe 2/3 ou FED209E subclasse 1 e apresentam braços totalmente fechados com superfície de poliuretano brilhante, capazes de uma grande destreza. Seu tamanho compacto ajuda a manter a área de trabalho organizada.

Aplicações de semicondutores e salas limpas

Carga e descarga de um barco de carbono na indústria fotovoltaica: O projeto efetor final assegura uma manipulação livre de estresse das pastilhas de PV sensíveis.

Um Stäubli RX60 SCR montado sobre um trilho vertical em um sistema estocador carrega e descarrega pastilhas de 300 mm em um ambiente ISO 2/3.

O ambiente livre de vibrações de um barco de quartzo preenchido com 150 pastilhas. O robô com padrão ISO 4 move o barco em frente a uma fornalha.

Manipulação de pastilha e transportador em ambiente ISO 2/3. O uso de robôs aumenta a produtividade e reduz as partículas.